図解されている点が一番評価の高いところです。
詳細部分までカラーで綺麗に作図されているため、イメージがとらえやすく、教育に使用する際意思の疎通が容易です。
内容は、半導体の原理を押さえつつ「なぜそのような作り方をするのか」という点が分かりやすく説明してあります。
装置の概略（主要パーツ）も掲載されていますので、プロセス・デバイスエンジニアをはじめ装置関連のエンジニアにも基礎教育ができる点がありがたいです。

私は半導体製造に携わって間もなく1年になりますが、疑問に感じていた測定原理や装置内でウェハがどのように処理されているのかが図で解説してあり、非常に理解しやすくまとまっていました。
自分が担当している工程以外はなかなか知る機会が少なく、「あの工程をちょっと思い出したい」という時に活用できる1冊と感じました。

このテキストを読んで、日ごろ仕事をしている上で分かったつもりになっていた事を明確に理解することができました。また、半導体の基礎的な部分の再確認をすることができ、製造工程についての理解も深まりました。
イラストが多いのでそれぞれの工程のイメージが掴め、詳しい原理についても知ることができました。このテキストで理解できたことをこれからの仕事で役立てていこうと思います。

私は半導体事業部で、LSI設計者の育成担当をしておりますが、LSI設計者がWF加工プロセス全般概略を理解するのに最適な入門書と思います。
製造現場からは、｢担当分野では何度も発表資料作りをしてきているが、主要工程全般に渡って、この様に分かりやすくまとまっている書籍に初めて出会った。」「国家試験の準備にも是非利用したい。｣と絶賛されております。
また、半導体事業部内の間接部門（生産管理､営業､人事、情報処理、特許、・・・）からは、｢絵が多くわかりやすい。これなら装置名、工程名、何をしているかが理解できそう。」「製造部門とのコミュニケーションが更に取りやすくなる。｣との声が届いております。
良い本に出会えました。